檢測儀器

花崗岩平台、直規、方規、等高塊

• 花崗岩平台
  線軌調教、軸堆疊、模組測試的核心治具。
• 直規
  線軌、精度驗證的基礎。
• 方規
  調整、精度驗證的基礎
  
  花崗岩平台精度符合DIN876級

API XD雷射干涉儀

• 可以同時量測線性位移、角度(Pitch,Yaw)、直度(XX/YY)並同時即時顯示此5個量測值
• 大約減少70%的量測時間

高精度高度儀LH-600F

2D及直角度等各式測量

VC-Curve_廠房地面穩定度

無塵室的地板穩定度等級介於VC-D-VC-G
穩定度適用於1um製程的光學檢測設備、電子顯微鏡(TEM及SEM)及E-Beam等儀器適用規格。