精密平台
ALA
1.XY中空設計,Class1002.大型中空設計,客户可靈活自行搭配治具使用
3.應用領域:6/8/12寸晶圓檢測/測試
4.重覆定位精度±0.4um
| TYPE | 有效行程Stroke(mm) |
最大推力
Con.force(N)Max.force 額定推力 |
重現精度 Repeatability (um) |
絕對精度 Accuracy (μm) |
負載下最大加速度 Max. Acceleration (m/s²) (With payload) |
負載下最大速度 Max. Velocity (m/s) (With payload) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ALA |
X:330/330 |
Y:960/280 |
+-0.4 |
+-1 |
2(m/s²) |
0.5(m/s) |
ALB
1.適合快速點到點定位2.可搭配鐵芯式或是無鐵芯線性馬達
3.架構簡單,應用範圍廣
4.防塵架構
5.可重負載使用
| TYPE | 有效行程Stroke(mm) |
最大推力
Con.force(N)Max.force 額定推力 |
重現精度 Repeatability (um) |
絕對精度 Accuracy (μm) |
負載下最大加速度 Max. Acceleration (m/s²) (With payload) |
負載下最大速度 Max. Velocity (m/s) (With payload) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ALB |
X:500/500 |
Y:1560/276 |
+-2 |
+-4 |
5(m/s²) |
1(m/s) |
ALC
1.花崗岩底座2.應用領域:6/8/12寸晶圓檢測/測試
3.可重負載使用
4.適合高加減速定位應用
| TYPE | 有效行程Stroke(mm) |
最大推力
Con.force(N)Max.force 額定推力 |
重現精度 Repeatability (um) |
絕對精度 Accuracy (μm) |
負載下最大加速度 Max. Acceleration (m/s²) (With payload) |
負載下最大速度 Max. Velocity (m/s) (With payload) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ALC |
X:600/600 |
Y:936/166 |
+-1.5 |
+-3 |
5(m/s²) |
0.8(m/s) |
ALD
1.花崗岩底座2.應用領域:6/8/12寸晶圓檢測/測試
3.可重負載使用
4.適合高加減速定位應用
| TYPE | 有效行程Stroke(mm) |
最大推力
Con.force(N)Max.force 額定推力 |
重現精度 Repeatability (um) |
絕對精度 Accuracy (μm) |
負載下最大加速度 Max. Acceleration (m/s²) (With payload) |
負載下最大速度 Max. Velocity (m/s) (With payload) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ALD |
X:600/550 |
Y:720/210 |
+-1 |
+-2 |
5(m/s²) |
0.5(m/s) |
